반도체 칩은 정보 기술의 핵심 기반이며, 각국이 개발 경쟁을 벌이고 있는 중요한 신흥 기술 및 산업입니다.웨이퍼반도체 칩 제조의 핵심 소재인 웨이퍼는 중국 반도체 산업 발전에 매우 중요한 역할을 합니다. 웨이퍼 생산 능력 면에서 중국은 이미 세계를 선도하고 있지만, 전 세계적인 '칩 부족' 현상이 심화됨에 따라 생산 능력 확대를 더욱 가속화할 것입니다.
1. 프로젝트 배경
국내 반도체 산업 상장 그룹의 자회사로서, 국내 전자정보소재 산업의 선두주자 역할을 하며 반도체 소재, 전자 특수 소재, 반도체 소자 및 기타 기술의 연구 개발과 제조에 전념하고 있습니다. 주력 제품은 반도체 구역 용융 단결정 실리콘 웨이퍼이며, 종합적인 기술력에서 세계 3위권에 속하고 국내 시장 점유율도 높습니다.80% 이상.
생산능력 확장을 가속화하기 위해 회사는 장쑤성 이싱시에 대구경 실리콘 웨이퍼 생산 및 제조 프로젝트 건설에 약 30억 달러를 투자했습니다. 2021년에 착수된 이 프로젝트의 2단계는 "4차 산업혁명"의 선진 개념을 바탕으로 전 생산 라인에 지능형 제조 기술을 도입하여 자동화, 정보화, 지능형 생산 시설 구축을 실현할 계획입니다. 완공 후에는 월 8인치 에피택셜 웨이퍼 22만 장, 12인치 폴리싱 웨이퍼 20만 장, 12인치 에피택셜 웨이퍼 15만 장의 생산 능력을 갖추게 되어 세계적인 경쟁력을 갖춘 실리콘 웨이퍼 생산 기지가 될 것입니다. 따라서 그룹의 지능형 창고 관리 측면에서,로보텍은 첨단 지능형 창고 시스템을 도입하여 생산 기지의 지능화, 정보화 및 자동화 수준을 향상시켰습니다..
2. 프로젝트p래닝
ROBOTECH는 생산 기지의 6m 수직 공간을 최대한 활용하여 다음과 같은 계획을 세웠습니다.4레인 박스형 자동화 창고반도체 웨이퍼 제품에 접근하기 위한 것으로, 총 수용량은 100개가 넘습니다.2000개의 저장 공간, 웨이퍼의 저장 용량을 효과적으로 증가시킵니다.웨이퍼가 판형이기 때문에 웨이퍼에 쉽게 접근할 수 있도록 특별히 맞춤 제작된 330*330*300 크기의 투명 플라스틱 용기를 캐리어로 사용하며, 최대 하중은 50kg입니다.기존 창고의 복잡한 웨이퍼 보관 공정과 제한된 공간 활용 문제를 해결하여 공간 활용도와 효율성을 동시에 향상시켰습니다.
• 제브라 시리즈 스태커 크레인 시스템
• 분당 100m, 24시간 주기 생산, 사이클당 시간당 63P
효율적인 운영 측면에서 ROBOTECH는 다음을 선택합니다.제브라 시리즈 스태커기중기체계수평 속도가 높은 동적 물질 흐름의 경우100m/분이는 다음을 충족합니다.24시간 생산 리듬생산 기지의 저장 효율은 다음과 같은 수준에 도달할 수 있습니다.사이클당 시간당 63P.
3. 도전을 두려워하지 않고, 맞춤형 혁신을 추구합니다.
•E먼지와 충격에 대한 저항력을 확보하십시오.
•비표준 맞춤 설정
•U초음파 센서 장치
•T운반대는 선반과 포크 위에 5도 각도로 놓여 있습니다.
도전 과제 1
반도체 웨이퍼의 저장 특성은 다음과 같습니다.먼지와 충격에 대한 저항력을 보장합니다.그렇지 않으면 깨지기 쉬운 웨이퍼에 손상을 입히기 쉽습니다. 이를 바탕으로 ROBOTECH는 스태커 크레인의 기계 구조를 업그레이드했습니다.비표준 맞춤 설정예를 들어, 기존 레일 대신 알루미늄 합금 지면 레일을 사용하고, 강철 기둥 대신 고강도 냉간 인발 알루미늄 합금 기둥을 사용하며, 강철 바퀴 대신 고무 코팅 바퀴를 사용하고, 강철 와이어 로프 리프팅 대신 타이밍 벨트 리프팅을 사용하며, 화물 플랫폼에 방진 커버를 추가합니다.장비 설계 초기 단계부터 먼지와 진동이 제품에 미치는 영향을 최소화하고, 무진 작업장에서의 오염 위험을 줄였습니다.생산량이 향상되었으며, 청정도는 1000등급의 환경 요구사항을 충족합니다.
도전 2
웨이퍼 캐리어의 투명한 플라스틱 케이스 때문에 기존의 광전 센서는 화물 감지에 사용할 수 없었습니다. ROBOTECH는 이러한 문제를 해결하기 위해 혁신적인 설계를 개발했습니다.초음파 센서 장치화물 감지 기능은 선반과 팔레트에 있는 상품의 상태를 자동으로 감지할 수 있습니다. 또한 카메라와 이동식 수동 조작 화면을 갖추고 있어 전체 공정에서 모든 자재의 정확한 시각화 및 추적성을 구현하고, 문제 발생 시 더욱 편리하게 해결해 줍니다.
도전3
웨이퍼가 캐리어에서 미끄러져 떨어지는 것을 방지하기 위해,운반대는 선반과 포크 위에 5도 각도로 놓여 있습니다.고정밀 위치 지정 및 안정적인 분기는 항공 화물 플랫폼 적재 보관용 특수 도구의 세 개의 위치 지정 핀에 웨이퍼 박스의 하단 슬롯을 삽입함으로써 구현됩니다. 반복적인 테스트를 거쳐 최종 위치 지정 정확도는 다음과 같습니다.± 2mm그리고 갈라지는 부분의 매끄러움이 도달했습니다.99.99%또한, 해당 장비는 다양한 연동 장치를 채택하여 전반적인 안전성을 효과적으로 향상시킵니다.안정성 및 안전 계수.
자동화 창고 솔루션 전문가인 ROBOTECH는 지능형 물류 솔루션을 구축해 왔습니다.첨단 장비와 종합적인 시스템을 기반으로 오염이 없고 실시간으로 추적 가능한 웨이퍼 소재를 생산합니다.
이 프로젝트의 성공적인 구현은 다음과 같은 의미를 지닙니다.반도체 웨이퍼 자동 저장 분야의 획기적인 발전그리고 또한 다음을 의미합니다.ROBOTECH이 공식적으로 반도체 분야에 진출합니다.반도체 기업에 지능형 물류 자동화 솔루션을 제공하여 기업 역량을 강화하고 있습니다. 앞으로도 ROBOTECH는 지속적으로 연구 개발에 힘쓰고, 업계 지식을 축적하며, 자원 활용도를 높이고, 전반적인 효율성 향상을 이루어낼 것입니다.
난징 인폼 스토리지 장비(그룹) 유한회사
휴대전화: +86 25 52726370
주소: 중국 난징시 장닝구 Yinhua Street 470호 211102
웹사이트:www.informrack.com
이메일:[이메일 보호됨]
게시 시간: 2023년 4월 11일
